离子源电源利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离，一般用来产生低电荷态正离子，有时也从中引出负离子，作为负离子源使用。在高频电场中，自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞，并使之电离。带电粒子倍增的结果，形成无极放电，产生大量等离子体。高频离子源的放电管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高频场可由管外螺线管线圈产生，也可由套在管外的环形电极产生。前者称为电感耦合,后者称为电容耦合高频振荡器频率为10 ～10 Hz，输出功率在数百瓦以上。
    从高频离子源中引出离子可有两种方式。一种是在放电管顶端插入一根钨丝作为正极，在放电管尾端装一带孔负电极，并把该孔做成管形，从中引出离子流。另一种方式是把正极做成帽形，装在引出电极附近，而放电区则在它的另一侧。不管采用哪种引出方式，金属电极都要用石英或玻璃包起来，以减少离子在金属表面的复合。

    离子源电源的另一种工作原理是利用气体放电原理，将工件放置在气体放电形成的等离子体中，通过放电粒子对工件表面进行轰击。气体等离子中包含的正离子、负离子、中性粒子、自由电子、光子和自由基等粒子，通过控制气体放电过程使等离子体轰击工件，可以消除表面附着的一些低分子物质，使其被电离、离解或解吸；同时其中一些高能载荷粒子所具有的丰富化学活性可以引起表面的物理形貌和化学结构的变化，使工件得到表面刻蚀和活化作用。

    显然，利用离子源电源进行离子轰击清洗工艺完全不同于液体清洗，是一种比较理想的“干式清洗”处理过程，具有明显的绿色环保工艺技术特点。可以对金属、塑料、玻璃等材料表面进行除油、活化、清洗处理，在薄膜沉积、半导体、纺织、精密机械等领域得到了较好的应用。在镀膜前通过离子轰击工件，其轰击能量可传递给基底的晶格原子，使晶格结构遭到破坏，增加工件表面的微观粗糙度，使基底的表面原子彻底裸露，提高原子的极化率，缩小了薄膜原子与基底表面原子的间距，同时增加薄膜与表面的接触面积，有利于提高机械锁紧力，从而极大地改善薄膜与基底间的附着力。

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